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      Meiden純臭氧發生器
       
   
      北京同林超純臭氧設備服務商
       
   
      超純臭氧選購服務熱線：010-82461830
       
  
       
   
 
       
  
  
  

       
   

 
       
 
 
       

  
       
 
       
   
 
       
    
       
  
  
       
   
       
  
 
       
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   半導體襯底成膜方案 
  
      
   
       
 
      
   
      
   
      
	半導體襯底成膜方案
      

      
	 
      

      
	深溝槽襯底應用案例（縱橫比1:15）
      

      
	 
      

      
	半導體襯底成膜方案(圖1)半導體襯底成膜方案(圖2)
      

      
	效果
      

      
	在溝槽底部，從側壁到底部可以基本形成同一SiO2膜厚
      

      
 
      
    
       
 
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      明電舍溫室氣體減排目標（向上修訂）  
    
       
    
       
     
      明電舍溫室氣體減排目標（向上修訂）
       
     
      
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      提高中長期溫室氣體減排目標并獲得SBT認證  
    
       
    
       
     
      提高中長期溫室氣體減排目標并獲得SBT認證
       
     
      
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      高品質金屬氧化物薄膜成長  
    
       
    
       
     
      高品質金屬氧化物薄膜成長
       
     
      
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