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      北京同林超純臭氧設備服務商
       
   
      超純臭氧選購服務熱線：010-82461830
       
  
       
   
 
       
  
  
  

       
   

 
       
 
 
       

  
       
 
       
   
 
       
    
       
  
  
       
   
       
  
 
       
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   洗凈/去除(灰化)方案 
  
      
   
       
 
      
   
      
   
      
	半導體制造工程（高離子注入）的光刻膠灰化應用案例
      

      
	 
      

      
	洗凈/去除(灰化)方案(圖1)洗凈/去除(灰化)方案(圖2)洗凈/去除(灰化)方案(圖3)
      

      
	效果
      

      
	室溫下高速度灰化
      

      
	可以灰化各種半導體光刻膠
      

      
	在高離子注入后灰化時不產生光刻膠爆裂
      

      

      

      
 
      
    
       
 
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